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강하넷 진단 Report           ◎ : 매우 잘함
   ○ : 잘함
   △ : 보통
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공정 별 현수준 대표 품목 대책
CVD ◎ (C) PLATE PERF COMMON 　
(C) PLATE, BLOCKER 　
(C) UPPER DOME 　
(C) CERMIC COVER 　
(C) COLLER MIN CONTACT 200 　
(C) SHIELD 　
(C) WAFER LIFT 　
(C) PUMPING PLATE 　
(C) PLATE WINDOW ITVSERT 　
(C) ISOLATOR CERAMIC PRO 200MM 　
(C) CERAMIC PUMPING INSERT TOP 　
(C) PRODUCER FACE PLATE 　
(C) CERAMIC PUMPING INSERT MID 　
(C) CERAMIC PUMPING INSERT BTM 　
(C) BLOCKER 　
(C) GAS BOX EXTENSION 　
(C) Manifold 　
(C)SHIELD(P-5000) 　
(C) CERAMIC FORK ASSY 　
○ (C) VRB SHIELD 8" 　
강하넷 진단 Report           ◎ : 매우 잘함
   ○ : 잘함
   △ : 보통
　 　                X : 현재 불가능
공정 별 현수준 대표 품목 대책
METAL ◎ (C) Altus Shower Head 　
(C) MOER RING JOEDIA 　
(C) ONE BODY CLAMP 　
(C) SHIELD CYLINDER 　
(C) DARK SPACE SHIELD 　
(C) SHIELD DEPOSITION 　
(C) SHIELD SUPPORT 　
(C) SHIELD DARK SPACE 　
(C1) SHIELD DARK SPACE 　
(C) SHIELD CHAMBER BOTTOM 　
C) CAP TABLE SHELD 　
DIFFUSION ◎ (C) QUARTZ TUBE 　
BOAT 　
INNER TUBE 　
OUTER TUBE 　
SIC SUSCEPTOR 　
SHOWER HEAD 　
IIP ◎ (C) FIGHT TUBE,AL,IMPLANT 　
강하넷 진단 Report           ◎ : 매우 잘함
   ○ : 잘함
   △ : 보통
　 　               X : 현재 불가능
재질 별 현수준 대표 품목 이 유
CERAMIC ◎ (C2) SHIELD RING T5 　 　
(C) DOME CERAMIC DPS 　 　
(C) Ring Capture 　 　
(C) Ring Focus 　 　
(C) Gas Nozzle,Housing 　 　
(C) Gas Nozzle,Plug  　 　
(C) Ceramic Inner Point 　 　
(C) INERPOSER RING 　 　
(C) WAFER CENTER RING 　 　
(C) HEAD-SHOWER 　 　
(C) SSGD Inner 　 　
(C) SSGD Outer 　 　
(C) Focus Ring 195mm  　 　
(C) Ring High Wall 8" 　 　
(C) Ring Focus ESC 8" 　 　
(C) Single Ring Ceramic 　 　
(C) Ring Confinement  　 　
(C) CERAMIC FILLER RING 　 　
(C) CERAMIC INNER POINT 　 　
(C) Ring Capture 　 　
(C) UPPER DOME 　 　
(C) CERMIC COVER 　 　
(C) COLLER MIN CONTACT 200 　 　
(C) SHIELD 　 　
(C) WAFER LIFT 　 　
(C) PUMPING PLATE 　 　
(C) ISOLATOR CERAMIC PRO 200MM 　 　
(C) CERAMIC PUMPING INSERT TOP 　 　
(C) CERAMIC PUMPING INSERT MID 　 　
(C) CERAMIC PUMPING INSERT BTM 　 　
(C)SHIELD(P-5000) 　 　
(C) CERAMIC FORK ASSY 　 　
(C) MOER RING JOEDIA 　 　
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   ○ : 잘함
   △ : 보통
　 　                X : 현재 불가능
재질 별 현수준 대표 품목 대책
AL ◎ (C2) SHIELD RING T5 　
(C) DOME CERAMIC DPS 　
(C) Ring Capture 　
(C) Ring Focus 　
(C) Gas Nozzle,Housing 　
(C) Gas Nozzle,Plug  　
(C) Ceramic Inner Point 　
(C) INERPOSER RING 　
(C) WAFER CENTER RING 　
(C) HEAD-SHOWER 　
(C) PLATE PERF COMMON 　
(C) PLATE, BLOCKER 　
(C) PLATE WINDOW ITVSERT 　
(C) PRODUCER FACE PLATE 　
(C) BLOCKER 　
(C) GAS BOX EXTENSION 　
(C) Altus Shower Head 　
SHOWER HEAD 　
(C) FIGHT TUBE,AL,IMPLANT 　
○ (C) VRB SHIELD 8" 　
(C) Manifold 　
SUS ◎ (C) ONE BODY CLAMP 　
(C) SHIELD CYLINDER 　
(C) DARK SPACE SHIELD 　
(C) SHIELD DEPOSITION 　
(C) SHIELD SUPPORT 　
(C) SHIELD DARK SPACE 　
(C1) SHIELD DARK SPACE 　
(C) SHIELD CHAMBER BOTTOM 　
C) CAP TABLE SHELD 　
강하넷 진단 Report           ◎ : 매우 잘함
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재질 별 현수준 대표 품목 대책
ANODIZING ◎ (C) UPPER CHAMBER(메탈) 　 　
(C) Upper Chamber DPS-Poly 　 　
(C) UPPER CHAMBER ASS'Y 　 　
○ (C) MXP+ LINE 　 　
(C) Housing 　 　
(C) LINER, DGDP, CHMBR 　 　
(C) LINER, CATH, MAGNET 　 　
(C) DOOR, SLIT V/V DOOR 　 　
(C) PLATE BAFFLE(CDRM2) 　 　
(C) CAHTODE LINER MXP+ 　 　
(C) MXP+ LINER (WALL LINER) 　 　
(C) MANOMETER WINDOW 　 　
(C) EPD WINDOW 　 　
(C) AL,EXHAUST BAFFLE 　 　
(C) CHUCK AL 　 　
(C) UPPER ELEC, AL6061 　 　
(C) LOWER ELEC, AL6061 　 　
(C) END CAP PLATE 　 　
(C) TGV LOCKING RING 　 　
(C) TGV PENDDLERUM V/V 　 　
강하넷 진단 Report           ◎ : 매우 잘함
   ○ : 잘함
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재질 별 현수준 대표 품목 대책
QUARTZ ◎ (C) Ring Confinement Top 　
(C) Ring Confinement Bottom 　
(C) Ring QUARTZ Upper 　
(C) SHADOW RING QUARTZ 200 　
(C) UNI INSERT GAS QUARTZ 200 　
(C) Quartz Cover Ring 　
(C) QUARTZ TUBE 　
BOAT 　
INNER TUBE 　
OUTER TUBE 　
○ (C) Ring 　
GRAPHITE ◎ SIC SUSCEPTOR 　
○ (C) SUPER BOLTED LOWER 　








 

 

 

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품 질 특 성

기 록 양 식

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로 트 번 호

* 검 사 원

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발

생

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시 분

발견자

인

응

급

조

치

19 . . .

시 분

발견자

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원

인

조

사

*해당팀은 원인조사 의뢰하고 조사 및 분석이 안되는

경우에는 QM위원회로

19 . . .

시 분

조사자

인

재 발

방 지

조 치

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시 분

조치자

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후

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책

19 . . .

확인자

인

특기사항

회

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감사지적사항

감사자:

피감부서 : 일 자:

NO.

내 용

원 인 및 대 책

완료예정일

완 료 일

확 인

비 고

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특채신청서

신 청 부 서

자 재 부

문 서 번 호

문서번호 자재-97-026

품 명

연결 CABLE C270외 5종

신 청 일 자

1997 년 6 월 24 일

납 품 일 자

1997 년 6 월 17 일

특 채 수 량

전 량

제 조 자

현 일 전 산

견 본 유 무

□무 ■유 ( 6 ) 개

불

량

내

용

및

원

인

◎ 쉴드선 피복 칼라 틀림

◎ 규격 및 수량

1 C263-50 EA 4 C270-50 EA

2 C264-50 EA 5 C271-50 EA

3 C268-50 EA 6 C272-50 EA

특

채

사

유

◎ 품질에 영향이 없고 생산 작업상 칼라 식별 가능함.

향

후

대

책

◎ 제안으로 도면 변경 의뢰

(납기지연, 업체 재고 부담을 줄일 수 있음)

신 청 부 서

담

당

홍 길 동

과

장

부

장

검 토

부 서

의 견

특 채

검 토 자 서 명

가

부

자 재

작업상 문제 없음 (식별상의 문제없음)

○

홍 길 동

생 산

작업상 문제 없음 (식별상의 문제없음)

○

홍 길 동

검 사

작업상 문제 없음 (식별상의 문제없음)

○

홍 길 동

주

관

부

서

결

정

□ 사용가능 :

□ 불 채 용 : 폐기, 반품

□ 채 용 : 그대로 사용, 수리 또는 보수, 용도변경

□ 조 건 부 : 차기용 도면 변경

승

인

자

☑ 채 용

승인 내용 : □ 불채용

□ 조건부

배포처

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