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A. 작성, 검토 및 승인

? 문서 식별

? 본 품질지침서는 강하넷(주)의 품질경영 방침에 따라 다음 책임자에 의해 작성(개정), 검토 및 승인이 되어야 효력이 있다.

? 합 의

? 회 람

B. 목차 및 개정 현황

목적

이 지침은 열처리 공정까지의 작업 진행 과정에서 부착된 미세 먼지 입자나 오염 성분을 제거하기 위한 공정에 적용한다.

적용범위

이 지침은 열처리 공정까지의 작업 진행 과정에서 부착된 미세 먼지 입자나 오염 성분을 제거하기 위한 공정에 적용한다.

용어의 정의

Ultra Sonic

제품에 묻어 있는 미세 먼지나 오염 성분을 제거하기 위한 장치로 초음파 진동자와 초순수 Water로 구성되어 있다

책임과 권한

생산부서장

생산의 총괄적인 관리에 대한 책임과 권한

공정 이상발생 시 처리

작업자의 안전관리

생산 공정의 개선

작업자의 교육훈련

작업자의 자격부여 및 등급관리

생산담당

품짐지침서에 따른 부여된 작업의 수행

설비의 일상 점검 실시

업무절차

작업방법

열처리 공정이 완료된 제품들을 비닐 케리어에 담아 창정실 내로 반입한다.

Ultra Sonic 처리조에 초순수DI Water로 Overflow 되도록 한 후 Vinyl Carrier에서 제품을 하나씩 꺼내어 적재시킨다.

Ultra Sonic을 가동시켜 초음파 세척을 진행시키며 이때 파워는 5단계를 유지하며 시간은 30분간 실시한다.

초음파 세척이 끝나면 N2 건을 이용하여 제품을 완전 건조 시킨 후 Vinyl Carrier에 담는다.

제품이 담긴 Vinyl Carrier를 다음 공정으로 이동시킨다.

품질기록

본 지침서에 따라 업무를 수행하는 도중 발생되는 기록은 기록관리 절차서(문서번호 : WQP-MS-3)에 따라 기록되고 유지되어야 한다.

관련문서

기록관리 절차서 (문서번호 WQP-MS-3)

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A. 작성, 검토 및 승인

? 문서 식별

? 본 품질지침서는 강하넷(주)의 품질경영 방침에 따라 다음 책임자에 의해 작성(개정), 검토 및 승인이 되어야 효력이 있다.

? 합 의

? 회 람

B. 목차 및 개정 현황

목적

이 지침은 화학 공정을 마친 세라믹 제품 내부에 흡착된 반응 Gas들을 열분해 과정을 통하여 활성화 시켜, 오염 물질을 제거하는 공정에 적용된다.

적용범위

이 지침은 화학 공정을 마친 세라믹 제품 내부에 흡착된 반응 Gas들을 열분해 과정을 통하여 활성화 시켜, 오염 물질을 제거하는 공정에 적용된다.

용어의 정의

Furnace : 열분해를 용이하게 하기 위해서 최고 1000˚C까지 온도를 상승시킬 수 있는 고온처리용 설비.

작업 받침대 : 피 가공물(제품)을 올려 놓기 위한 원형판.

층간 받침대 : 제품을 적층 시킬 때 부품과 부품사이에 캐리어 개스나 열 전도가 균일하게 이루어지게 하기 위한 세라믹 치구.

온도제어기 : 제품에 주는 열충격을 피하기 위해 온도의 시간당 상승율, 시간당 하강율, 프로세스 온도의 유지및 시간을 제어하도록 만든 것으로 회로차단 기능이 수동으로 부가되어 있는 장치

유압장치 : 적층되어진 제품의 하중을 흔들림없이 전기로 내로 밀어 올리는 장치로 모터와 로더로 구성되어 있다.

Gas Flow Meter : Carrier Gas의 량을 조절하는 조절계

Carrier Gas : 제품 표면의 오염물이 급격하게 표면 또는 내부에서 산화 또는 연소되어 잔류물이 그 표면 또는 내부에 남게되는 것을 막기 위한 것과 Furnace 내부의 철이 산화되어 이로 인한 Particle이나 지꺼기가 발생하는 것을 최소화시키기 위해 넣어 주는 Gas로 그 주성분은 일반 Air(99.9%)를 사용한다.

내열장갑

고온용 내열장갑으로서 450℃까지 견딜 수 있으며 제품을 넣거나 꺼낼때 사용되는 장갑을 말한다.

책임과 권한

생산부서장

생산의 총괄적인 관리에 대한 책임과 권한

공정 이상발생 시 처리

작업자의 안전관리

생산 공정의 개선

작업자의 교육훈련

작업자의 자격부여 및 등급관리

생산담당

품짐지침서에 따른 부여된 작업의 수행

설비의 일상 점검 실시

업무절차

작업순서

본 작업은 배치 작업이므로 지금까지 잘 유지해온 1Set 분량씩 구분 관리 되어진 것들이 서로 혼입될 수 있으므로 이점에 주의한다. 작업할 제품을 잘 정리해 둔다.

Furnace의 온도가 Stand-By 상태인가를 확인하고 Carrier Gas가 계속 흘러나오는지 확인한 후 유압장치를 하강으로 작동시켜 Loader를 아래로 내린다.

작업받침대위에 층간 받침대를 올려 놓고 그 위에 큰 제품들을 반복해서 적층시킨다.

작은 제품들은 큰 제품들 내면에 생긴 사각 부분의 공간을 이용해서 필요한 만큼 적층을 시킨다.

유압장치를 가동시켜서 Loader가 제품과 함께 Furnace 속으로 들어 가도록 한다.

온도제어기에서 작업순서를 결정하고 Start Button을 누른후 프로그램된 대로 온도조절이 이루어지는가를 확인한다.

작업이 종료되면 표면 온도계를 이용하여 제품의 표면 온도가 150℃ 이하일 때 작업선반 받침대 위에 올려 놓은 후 제품의 표면온도가 상온으로 떨어지면 Vinyl Carrier에 담아 이동한다.

1cycle의 작업이 완료되면 준비된 다음 제품들을 Loader에 장착시키고 앞의 순서를 반복한다.

Furnace 스케쥴

Furnace프로그램

* 온도곡선에 따른 시간 및 가스조절표

Furnace전원을 Power on후 Furnace Chamber온도가 300˚C될때까지 대기

300˚C가 되면 Gas주입 시작 : 8ℓ/분

600˚C될때까지 대기 : 8ℓ/분

600˚C가 되면 Gas주입량을 증가시킨다 : 10ℓ/분

600˚C에서 60분간 진행후 Gas주입 중지하고 10분간 추가 가공후 Power Reset 시킨 후 자연냉각을 위한 다음공정을 진행한다.

자연냉각 및 Loader의 하강방법

Furnace의 온도가 600℃가 되어 60분이 경과되면 Gas의 투입을 즉시 중지하고 10분 후에 전원을 차단하고 온도제어기의 계기치 온도가 500℃가 될때까지 자연 냉각시킨후 수동으로 1차 하강선 까지 내린다.

Furnace의 온도가 450℃가 되면 2차 하강선까지 내린다.

Furnace의 온도가 400℃가 되면 3차 하강선까지, 350℃가 되면 4차 하강선까지, 300℃가 되면 하강제한선 까지 Loader를 내린다.

표면온도를 측정하여 150℃이하가 되면 대기셀프에서 상온까지 냉각시킨다.

품질기록

본 지침서에 따라 업무를 수행하는 도중 발생되는 기록은 기록관리 절차서(문서번호 : WQP-MS-3)에 따라 기록되고 유지되어야 한다.

관련문서

기록관리 절차서 (문서번호 WQP-MS-3)

첨부

열분해 작업일지 (첨부 1)

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Email : kangha@daum.net

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A. 작성, 검토 및 승인

? 문서 식별

? 본 품질지침서는 강하넷(주)의 품질경영 방침에 따라 다음 책임자에 의해 작성(개정), 검토 및 승인이 되어야 효력이 있다.

? 합 의

? 회 람

B. 목차 및 개정 현황

목적

이 지침은 고객들로부터 재처리 의뢰된 세라믹 부품들에 대해 당초 그 사용 목적에 따라 라인별, 설비별로 구분하여 당사의 처리공정을 적용시킴으로서 제품간 혼입을 방지 하는데 있다.

적용범위

제품을 라인별, 설비별로 구분하는 당사의 처리공정에 적용한다.

용어의 정의

세라믹 부품

반도체 확산공정 중 건식식각 설비 장치 내에서 웨이퍼가 전기적으로 중성인 위치에서 식각이 되어지도록 웨이퍼를 절연시킴과 동시에 웨이퍼를 기계적으로 홀드 시키는 역할을 하는 부품들과 세라믹으로 제조된 그 부속 부품들을 칭한다.

금속오염

반도체 프로세스상 건식 식각에는 주로 산화막, 폴리막, 텅스텐박막및 알루미늄과 그 합금물이 선택적으로 에칭된다. 이런 목적으로 동일메이커에, 동일 종류의 설비라 할지라도 적용 프로세스 상 금속을 에칭하면 금속식각장치, 비금속을 에칭하면 비금속식각장치로 대별되며, 반응 개스들이 금속에는 플루오린계가, 비금속에는 염소계나 브롬화물이 사용되며 이것이 교차하여 사용될 때 발생되는 오염을 금속오염이라 한다.

금속 식각

주로 알루미늄, 알루미늄의 합금, 티탄 나이트라이드, 텅스텐 등을 염소계 개스나 브롬화계 개스를 사용해서 선택적으로 식각을 하는 공정을 말한다.

비금속 식각

주로 열산화막, 기상 성장된 산화막, 폴리실리콘 박막과 옥시 나이트라이드 박막을 플루오린계 개스를 사용해서 선택적으로 식각 하는 공정을 말한다.

분리작업

의뢰되어진 세라믹 부품들을 라인별, 설비별로 구분하여 혼입을 방지하는 준비 작업을 말한다.

솔브러쉬

의뢰되어진 세라믹 부품의 초기 파티클을 제거하기 위하여 부드러운 재질로 된 치공구를 말한다.

책임과 권한

생산부서장

생산의 총괄적인 관리에 대한 책임과 권한

공정 이상발생 시 처리

작업자의 안전관리

생산 공정의 개선

작업자의 교육훈련

작업자의 자격부여 및 등급관리

생산담당

품짐지침서에 따른 부여된 작업의 수행

설비의 일상 점검 실시

업무절차

작업의 방법

세라믹 부품들은 고객들로부터 인수 단계에서 사용된 설비와 수량을 파악하고, 라인별로 구분하여 운송박스에 분리하여 인수한다.

라인별로 분리되어진 부품을 설비별로 구분하는 방법은 별도의 운송 가방을 사용하며 설비별로 구분하는 방법은 Tag를 붙여 사용한다.

예) 라인별 색상지정

6Line-붉은색, 7Line-푸른색, 8Line-노랑색, 9Line- 흰색

푸른색 테그 위에 "Metal" 표기 ▶▶ 7Line의 메탈설비

운송가방에서 조심스럽게 제품을 꺼내어 비닐봉지 안에서 솔브러쉬를 이용하여 가볍게 털어 낸다. 이때 Particle에 의해 주변이 오염되지 않도록 주의한다.

처리 의뢰되는 부품들은 다른 기계장치의 부품들과 혼입이 되지 않도록 주의한다.

제품분류가 완료되면 제품별 Run구성 요건에 맞추어 Split 하여 Run-NO를 부여하고 그 결과를 별첨) RUN관리대장(첨부 1)에 기록한다.

Run-NO부여 기준

열분해 공정의 설비 1회 작업량으로 Split하여 부여함.

제품별 1회 작업량

Run-NO 부여원칙

K M 08 - 001 - C A

-- -- -- --- -- --

① ② ③ ④ ⑤ ⑥

① KanghaNet

② M : Metal, O : Oxide, P : Poly

③ 제품인수월 01: 1월 ~ 12 : 12월

④ 일련번호 001~999

⑤ Run의 총수 A : 1 B : 2 C : 3

⑥ 해당되는 Run ( A: 첫번째 B: 두번째 C: 세번째)

제품의 이동

Rnn구성이 완료된 제품은 Vinyl Carrier에 담아서 RUN-SHEET와 함께 다음공정으로 이동한다

품질기록

본 지침서에 따라 업무를 수행하는 도중 발생되는 기록은 기록관리 절차서(문서번호 : WQP-MS-3)에 따라 기록되고 유지되어야 한다.

관련문서

기록관리 절차서 (문서번호 WQP-MS-3)

첨부

Run관리대장 (첨부 1)

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Email : kangha@daum.net